手机浏览器扫描二维码访问
第376章 PMOS（第3页）
“那最高的温控精度有多高？到得了正负1摄氏度不？”高振东问道，这个精度涉及到扩散掺杂效果。
这个鲁总工清楚：“这个到不了，有点差距，主要是传感器问题。”
现在他们用的k型热电偶，测温范围没有问题，但是精度就差不少了，2.5摄氏度或者千分之7.5，对于这个精度要求差了老远。
高振东想了想，没有推荐b型热电偶，b型的千分之2.5的误差也差点意思，而且反应速度慢。
“加一个铂电阻吧，间接测量，作为辅助传感器，配合k型热电偶，加上djs-60d跑pid控制算法，应该是能控制得住的。”
铂电阻反应速度也慢，不过这个可以算法手段加以某种程度上的解决，铂电阻精度就远超需求了，最好的可以到千分之三摄氏度。
铂电阻最大的问题还是测温范围问题，半导体生产中需要用到1000摄氏度以上的范围，是超过铂电阻的测温范围的，不过间接测量设计得好的话，问题不大。
所以高振东拿出了铂电阻间接测量+k型热电偶直接测量的办法，一个测得准，一个测得快，双剑合璧，天下无敌。
他不知道日后的扩散炉是怎么解决这个问题的，反正在他这里，他就这么解决。
之所以这个扩散炉这么重要，主要是很多工序都靠这个。
氧化、淀积、扩散、扩散-氧化，这些都靠这玩意了。
扩散-氧化本来还有一种工艺的，但是高振东没有选，因为选择那种工艺会多出来一种叫做外延反应系统的设备，那就麻烦了。
所以高振东选择的还是能靠扩散炉完成“热氧化法”。
高振东想了想，又给了一笔支持：“到时候我这边支持你们一些专门搞计算机控制和热电偶应用的技术人员，负责配合你们搞这个事情。”
鲁总工他们这下放下了心，高总工这里的精兵强将亲自支援，那就好办多了。
高振东也很开心，ps技术芯片制造阶段的三大核心设备，一个光刻机，一个扩散炉都有了，就剩下一个了。
“吕厂长，真空蒸镀设备现在是个什么情况？”在1274厂的现状上面没有发现这东西，情况可能不容乐观。
吕厂长摇摇头：“没有，以前我们都用不上这个。”
真空蒸镀，在真空条件下蒸发金属，在工件表面形成金属镀层的设备，在芯片制造业，它的升级版是溅射设备。
不过溅射设备是用于钽、铌等金属的，它们的溅射特性好，而芯片内布线大量使用的铝就不同了，一直是蒸发。
不过蒸发也有几种，有电阻加热的，直接用钨等金属电阻材料加热高纯铝，形成金属蒸气，完成蒸镀。
还有一种是电子束蒸发，这个可以避免电阻加热的一些坏处，比如加热电阻与工艺中的氧化气氛接触，会把自己给蒸了，甚至它们会和被蒸发的金属起反应，这就更难绷了。
高振东想了想：“那我们搞个电阻蒸镀机吧。”
电子束蒸发是要靠磁场精准偏转电子束打到靶材上进行加热的，先不说高能电子束的来源问题，这个磁场怎么来都是一个问题，永磁体就不用想了，电磁场，以现在的条件来说也是个问题。
反倒是技术落后的电阻加热，在现在是更加可行的，每一项技术的存在，总是有它的理由的。
反正现在这个也不是什么要求很高的制程，所以整个集成电路工艺在高振东看起来虽然充满了凑合、将就的意思，但是在这个阶段，差不多就是最合适的了。
不过，1274厂的两位，明显不觉得这套工艺是凑合或者将就。
漂亮亲妈七零养娃日常[年代文] 我能穿神话 你惹她干嘛？她黑白两道皆马甲 死后才知，我竟是京圈太子白月光 在综漫世界掌控命运 失忆后被偏执狂独占 从小姨妹开始 高冷对家竟是我的泥塑粉 男朋友变成丧尸了怎么破 嗷呜~崽崽超可爱 野心勃勃女性政治家[直播] 摄政王人人诛之 凤醉山河 贪吃王妃别想逃 救场导演 全京城都怕国公夫人 战死后成了帝国元帅的老婆[重生] 渔村欲乱 侏罗纪世界，但我是方舟南巨？ 渣子们总想弄哭师尊［穿书］
极品王爷太凶残
...
大豪门
馅饼，说好的豪门风云世家恩怨呢？有。自己看书！馅饼，说好的江湖快意儿女情仇呢？有。自己看书！馅饼，说好的纨绔嚣张衙内跋扈呢？有。自己看书！馅饼，说好的狗血装逼扮猪吃虎呢？有。自己看书！馅饼，说好的医卜星象天机莫测呢？嚓，你有完没完？有，都有！不会自己看书啊？好，我看书去了，看得不爽，削你！那看得爽了呢？要不要给票？...
平凡之路2010
（本书又名90后青春物语）林一身上曾有过许多标签少年做题家九八五废物前大厂码农。一桩意外，让他沿着时光之河逆流而上，穿越十二年光阴。回到梦开始的地方，让所有遗憾通通不再发生！财富权势名声那些不过是我拥有过最微不足道的东西。一段少年事，一曲凡人歌。（第一卷少年自有凌云志，曾许人间第一流已完结...
太太对不起，我真不是幕后大佬
关于太太对不起，我真不是幕后大佬影帝王洛的灵魂，穿越进了一个年轻人的身体中。这个叫陈亦鹏的年轻人，不仅拥有一位身份神秘的美艳太太，还有一堆数不清的麻烦。最可怕的是，一位妄图长生的大佬也将自己的意识，转入了这具身体中，并给予了更复杂的身份背景。面对大佬那群可怕的属下们，他必须小心谨慎，被发现的后果只有死路一条。从此，他这只羔羊必须披上狼皮，伪装成狼王，混迹在狼群之中。可怕的秘术，恐怖的秘武，超脱身体极限之后的见神不坏。他所能做的就是在异界闯出属于自己的道路，探索这个诡异的世界。陈先生！一位位掌控着帝国权力的人跪在面前，额头不断撞击着地面。他们仰头看着高坐在台上的年轻人，眼神中充满了敬畏，就犹如看到伟大的神只。...
御奴高岭，从收下绝美总裁开始
关于御奴高岭，从收下绝美总裁开始主人，请吃葡萄。秦凡看着高岭之花跪在自己面前，有些恍惚。曾经自己还是个人尽皆知的穷学生，意外觉醒女仆系统后。女总裁，黑道千金，高冷校花，绝美明星，纷纷和秦凡签订契约。简介苍白无力，还请帅哥美女大大移步正文！...
她发癫，他绿茶，恋综撒糖尊嘟甜
关于她发癫，他绿茶，恋综撒糖尊嘟甜因骂的太脏，穿成po文里和她同名同姓恶毒女配假千金苏夏。原主爱的死去活来的万人迷偏执霸总维护敌蜜。她在直播间哐哐一顿输出呦呦呦，哪里来的狗叫的这么欢我看你是眉毛下面挂俩蛋，光会眨眼不会看监控有吧请看VCR＊参加恋综，节目组灵魂发问你的梦想是什么苏夏眼神流露出向往躺在一八五八块腹肌不爱穿衣服有钱的帅男人怀里哭。弹幕尖叫。＊后来，一不小心颠成团宠。霸总大哥甩她无限额黑卡，影帝二哥给她开娱乐公司，歌手三哥为她作曲高冷真千金唯独跟她贴贴。＊反派男配江羡天生凄惨，早死的妈，渣宰的爸，狠毒的哥和断了一条腿的他。江羡私生子身份曝光，被骂上热搜，全网群嘲，只有苏夏一人站在他身前维护。苏夏遇到危险，他奇迹般的站了起来。面对镜头质问他坦然一笑没错，我装的。爱她不是。我早就心动了，在你看向我的每一个眼神里，千千万万次。咸鱼烂虾是真的...