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第272章 成功了光刻工厂实现了（第3页）

而arF光刻胶又分正胶和反胶，这次曝光用的是正胶，被曝光区域的光刻胶会生化学反应，没曝光区域则不受到影响。

一块区域被曝光后，透镜组立马移动，侧开照射光源，待移动平台调整后继续移回正位，对下一个区域进行光刻曝光。

12寸半导体硅片，大概能产出232块1.6x1.6的成品裸片，也就是说需要曝光232次。目前来说，曝光一次的度大概在1秒，这就需要232秒，也就是差不多4分钟才能把一张半导体硅片全部曝光完成。

虽然这个度相比较于光刻机慢了差不多一倍，可光刻工厂毕竟是国产自研，而且是第一代产物，后续透镜组和移动平台还能继续优化，追赶上光刻机的光刻度不是不可能的。

在等待了四分钟后，林天看向陈星等人解释道：“考虑到两块光掩膜版的能量消耗，我们先不急着拿去显影，让半导体硅片再次加热，加剧光刻胶的化学反应。”

陈星、雷兵、夏扬微微颔，都在等待着结果。

现在这里陈星算半个门外汉，雷兵、夏扬则是都是门外汉，只能听林天安排。

他别说拿去烤了，哪怕是烧，他们也会觉得很合理。

随着林天输入指令，本该送去显影的半导体硅片被传送去了烘烤区域，进行二次加热，加剧arF光刻胶内部的化学反应。

当这步完成以后，半导体硅片再次被运输，它来到了显影区域。

先用去离子水润湿硅片，紧接着把硅片放在显影平台，上方的机器设备喷出显影液，均匀地撒在半导体硅片表面，进一步溶解被曝光的部分区域。

随着这个步骤完成，半导体硅片表面已经清晰可见电路图案，只差最后的冲洗，将未曝光部分黏着的光刻胶全部清洗掉。

“我好像看见图案了。”

雷兵瞪大双眼，不敢错过任何一丝的细节。

“我也看见了。”夏扬附和道。

刚才半导体硅片清洗拿出时，可以清晰看见硅片表面密密麻麻的电路图案。

“有电路图案是好事，但还需要经过电路测试才能知道芯片能不能正常运行。”

陈星讲解道。

经过了开天芯片、轻舟芯片、soc上帝芯片多次耳濡目染，他已经算半个行内人了。

曝光、蚀刻、显影、清洗他都略懂一二，当然了，只是略懂，还停留在理论知识层面。

不过纵使是这样，雷兵还是忍不住竖起拇指称赞道：“想不到陈总不仅在商业领域有所建树，原来在芯片领域也有自己独到的见解。”

“确实想不到。”

夏扬也附和一声。

本以为陈星什么也不懂，没想到人家出口成章，这让他们都感到了一丝意外。

听着两人称赞，陈星也几位谦虚道：“不算是见解，只是耳濡目染多了记下的知识点。”

“能记下也是个本事。”

雷兵笑道。

夏扬也点了点头，附和道：“没错，记忆力不好的想记也记不住，陈总能记住这些流程，足以见得龙兴科技深耕芯片的赤子之心。”

在两人一唱一和拍陈星马屁的同时，全自动化的生产线已经把显影后的半导体硅片送去切片，进行最终电路测试。

林天看着“检测中”的提示，看向陈星说道：“如果可以通过，二期光刻工厂就可以开工了，不过能源还是个问题…”

他目光看向夏扬。

后者立马会意，连忙说道：“陈总、林席你们放心好了，只要证实光刻工厂可行，天一亮我就回去召开市级会议，主题就是建设你们的能源输送通道。”

“没错。”

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